Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982.

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического, электрохимического, фотохимическою, фотоэлектрохимического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений AIIIBV, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнение. Для инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых микроприборов и интегральных микросхем.





ПРЕДИСЛОВИЕ.

Книга посвящена одному из важных разделов технологии микроэлектронных приборов и интегральных микросхем — обработке поверхности полупроводников. Авторами впервые предпринята попытка комплексно осветить современные физико-химические методы обработай поверхности полупроводников: химико-механическое полирование (ХМП), химико-динамическое полирование (ХДП), электрохимическое и фотохимическое травление и полирование, различные методы очистки поверхности подложек полупроводников, включая плазмохимическую обработку. Основное внимание уделено применению этих методов для подготовки подложек из кремния, германия, соединений AIIIBV, используемых в промышленности при изготовлении микро-электронных приборов и интегральных микросхем. Материал книги базируется на результатах исследований, опубликованных в периодической советской и зарубежной печати за последние 10—15 лет.

ОГЛАВЛЕНИЕ.

Предисловие.
Глава первая. Основные вопросы технологии физико-химической обработки поверхности полупроводников.
Глава вторая. Химические методы обработки поверхности полупроводниковых пластин.
Глава третья. Физико-химические методы подготовки поверхности полупроводниковых подложек в планарно-эпитаксиальной технологии
Глава четвертая. Электрохимические методы обработки поверхности полупроводниковых подложек.
Глава пятая. Применение физико-химических методов обработки поверхности полупроводников в микроэлектронике.
Список литературы.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать djvu
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу


Скачать - djvu - Яндекс.Диск.




Теги: Луфт :: Перевощиков :: Возмилова :: 1982 :: физика :: химия