Луфт

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982.

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического, электрохимического, фотохимическою, фотоэлектрохимического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений AIIIBV, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнение. Для инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых микроприборов и интегральных микросхем.

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982

Скачать и читать Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982