Техническая механика микросистем, Тимофеев В.Н., 2015

Техническая механика микросистем, Тимофеев В.Н., 2015.

Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.





Введение.

Микросистемная техника (МСТ) — научно-техническое направление, ориентированное на создание в ограниченном объеме твердого тела (или на его поверхности) микросистем, представляющих собой упорядочение композиции областей с заданным составом, структурой и геометрией, статическая и динамическая совокупность которых обеспечивает реализацию процессов генерации, преобразования, передачи энергии и движения в интеграции с процессами восприятия, обработки, трансляции и хранения информации при выполнении запрограммированных операций [1,2]. В европейской литературе используется термин «микросистема» (МС) — интеллектуальная миниатюризированная система, обладающая сенсорными, процессорными и/или актюаторными функциями, где используется комбинация двух и более устройств, интегрированных в одном чипе и действующих с применением электрических, механических, оптических, биологических, магнитных и других эффектов. В США используется термин «микроэлектромеханические системы» (МЭМС).

Оглавление.

Введение.
Глава 1. Основы анализа колебаний механической системы.
Глава 2. Напряженно-деформированное состояние несущих элементов микромеханических приборов.
Глава 3. Демпфирование колебаний.
Глава 4. Электромеханика микросистем.
Глава 5. Датчики давления.
Глава 6. Микроакселерометры.
Глава 7. Микромеханические гироскопы.
Глава 8. Микромеханическое зеркало с карданным подвесом.
Глава 9. Инженерный анализ микросистемных устройств.
Литература.
Список используемых сокращений и обозначений.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Техническая механика микросистем, Тимофеев В.Н., 2015 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу, если она есть в продаже, и похожие книги по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить книги


Скачать - pdf - Яндекс.Диск.




Теги: Тимофеев :: 2015 :: механика