Специальные материалы и субмикронные компоненты, Лабораторный практикум, Пособие, Соловьёв Я.А., Шахлевич Г.М., Петлицкий А.Н., 2022.
Включает в себя лабораторные работы по исследованию дефектов кристаллического строения кремниевых подложек микросхем, топологии, элементного состава и электрофизических свойств субмикронных полупроводниковых структур, характеристик многослойных оптически прозрачных пленок на кремнии, а также моделированию и исследованию характеристик транзисторно-транзисторных логических микросхем и микросхем на КМОП-транзисторах.
Предназначено для закрепления теоретических знаний магистрантов, полученных ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины, приобретения навыков исследования субмикронных кремниевых структур на современном оборудовании.
Методы рентгеновской дифракционной и электронной микроскопии.
При использовании методов рентгеновской дифракционной микроскопии изучаемая дифракционная картина может быть получена как от проходящих, так и от отражённых пучков. В зависимости от условий съёмки искажённые участки решётки могут дать как повышение, так и понижение интенсивности дифрагированных лучей. Основными причинами контраста микродефектов являются первичная экстинкция и аномальное прохождение излучения.
Для исследования локальных микронарушений используются методы Ланга. Бормана (аномального прохождения рентгеновских лучей) и двухкристального спектрометра. Методом Ланга исследуются тонкие кристаллы 100-200 мкм. Рентгеновские лучи (рис. 1.5) от точечного источника попадают на образец 1, установленный в отражающее положение. На плёнке 2 фокусируется дифрагированный пучок, прямой пучок отсекается диафрагмой 3, и получается изображение сечения кристалла. В результате дифракционного контраста нарушения структуры проявляются как тёмные области на светлом фоне.
ОГЛАВЛЕНИЕ.
Лабораторная работа №1. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СТРОЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК МИКРОСХЕМ.
Лабораторная работа №2. ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЁНОК НА КРЕМНИИ.
Лабораторная работа №3. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ И ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР.
Лабораторная работа №4. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СУБМИКРОННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР.
Лабораторная работа №5. ИЗУЧЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ТРАНЗИСТОРНО-ТРАНЗИСТОРНЫХ ЛОГИЧЕСКИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ.
Лабораторная работа №6. МОДЕЛИРОВАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК МИКРОСХЕМ НА КМОП-ТРАНЗИСТОРАХ.
Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Специальные материалы и субмикронные компоненты, лабораторный практикум, Пособие, Соловьёв Я.А., Шахлевич Г.М., Петлицкий А.Н., 2022 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.
Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу
Скачать - pdf - Яндекс.Диск.
Дата публикации:
Теги: учебник по электронике :: электроника :: электротехника :: Соловьёв :: Шахлевич :: Петлицкий :: транзистор :: микросхема
Смотрите также учебники, книги и учебные материалы:
Следующие учебники и книги:
- Микроконтроллеры для систем автоматики, Учебное пособие, Водовозов А.М., 2022
- Электроника и схемотехника, Лабораторный практикум, Туляков В.С., 2023
- Автоматизированные системы управления мобильными энергетическими средствами, Лабораторный практикум, Бижаев А.В., Девянин С.Н., Чумаков В.Л., 2023
- Краткое изложение дисциплины Теория электрических цепей, Примеры решения задач, Часть 2, Батюков С.В., Иваницкая Н.А., 2023
Предыдущие статьи:
- Кварцевые электронные часы, Царев В.П., Сидин И.В., 1990
- Монтаж и наладка электрооборудования, Кудрин Б.И., Магазинник Л.Т., Ошурков М.Г., 2017
- Электроснабжение сельского хозяйства, практикум, Янукович Г.И., 2015
- Снижение рисков каскадных аварий в электроэнергетических системах, Воропай Н.И., 2011