Нанесение пленок в вакууме, книга 6, Минайчев В.Е., 1989

Нанесение пленок в вакууме, Книга 6, Минайчев В.Е., 1989.
 
   Изучив эту книгу, вы узнали, каково назначение тонких пленок при изготовлении полупроводниковых приборов и ИМС, какими методами их наносят, используя различное вакуумное технологическое оборудование, и как контролируют параметры технологических процессов и осажденных слоев.
В данном учебном пособии описаны только основные методы и вакуумное оборудование. Освоив этот учебный материал, вы в дальнейшей работе по выбранной специальности сможете, знакомясь с технической литературой и новейшей технологией, легко овладеть другими методами нанесения тонких пленок. Все это будет способствовать повышению вашей квалификации, позволит сознательно выполнять порученную работу и вносить свой вклад в развитие микроэлектроники.




ВАКУУМ В ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.
Технология нанесения тонких пленок и создание вакуума в рабочих камерах установок базируются на молекулярно-кинетической теории строения вещества.

Вещества в природе состоят из мельчайших частиц — молекул, которые могут существовать самостоятельно и обладают всеми свойствами данного вещества. Молекулы состоят из нескольких более мелких частиц - атомов, а могут быть и одноатомными (например, молекулы инертных газов).

Наблюдения за поведением любого вещества показывают, что его молекулы (атомы) находятся в постоянном беспорядочном движении независимо от того, в твердом, жидком или газообразном состоянии оно находится. Это движение обусловлено внутренней кинетической энергией вещества, которая связана с его температурой. Поэтому беспорядочное движение, в котором находятся молекулы, называют тепловым, а теорию, изучающую тепловое движение молекул, — кинетической теорией материи.

СОДЕРЖАНИЕ.
Введение.
Глава первая. Тонкие пленки в полупроводниковых приборах и микросхемах.
§1. Основные сведения.
§2. Нанесение пленок в вакууме.
§3. Вакуум в тонкопленочной технологии.
§4. Влияние вакуума на процесс нанесения пленок.
§5. Получение конфигураций тонкопленочных элементов.
Глава вторая. Нанесение пленок методом термического испарения.
§6. Основные сведения.
§7. Испарители с резистивным нагревом.
§8. Испарители с электронно-лучевым нагревом.
Глава третья. Нанесение пленок методом ионного распыления.
§9. Основные сведения.
§10. Диодные системы ионного распыления.
§11. Магнетронные системы ионного распыления.
§12. Высокочастотный и реактивный методы ионного распыления.
Глава четвертая. Контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения.
§13. Основные сведения.
§14. Измерение толщины пленок.
§15. Измерение электрического сопротивления пленок.
§16. Измерение адгезии пленок.
§17. Измерение скорости нанесения пленок.
Глава пятая. Вакуумные системы.
§18. Основные сведения.
§19. Механические форвакуумные и двухроторные насосы.
§20. Диффузионные паромасляные насосы.
§21. Криогенные насосы.
§22. Турбомолекулярные насосы.
§23. Измерение вакуума.
§24. Контроль состава остаточной атмосферы.
§25. Откачные вакуумные системы.
Глава шестая. Оборудование для нанесения тонких пленок.
§26. Основные сведения.
§27. Вакуумные установки периодического действия.
§28. Вакуумные установки полунепрерывного действия.
§29. Вакуумные установки непрерывного действия.
§30. Микропроцессорное управление установками нанесения тонких пленок.
Глава седьмая. Электронно-вакуумная гигиена и техника безопасности.
§31. Электронно-вакуумная гигиена.
§32. Техника безопасности.
Заключение.
Рекомендуемая литература.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Нанесение пленок в вакууме, книга 6, Минайчев В.Е., 1989 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать файл № 1 - pdf
Скачать файл № 2 - djvu
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу


Скачать - djvu - Яндекс.Диск.

Скачать - pdf - Яндекс.Диск.




Теги: учебник по электронике :: электроника :: электротехника :: Минайчев :: микроэлектроника :: пленка :: вакуум