Теория механизмов и машин, проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, Ивашов Е.Н., Сигов А.С., 2019

Теория механизмов и машин, проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, Ивашов Е.Н., Сигов А.С., 2019.

ПРЕДИСЛОВИЕ.

В настоящем учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l — координатных исполнительных устройств и узлов фения для работы в условиях вакуума, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств для захватов манипуляторов, вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, а также вопросы расчета вероятности безотказной работы элементов механических систем, функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнения и газовыделения и др.




Глава 1. ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.

На современном этапе развития вакуумного оборудования тонкопленочной технологии важными факторами является:
- автоматизация процесса напыления тонкопленочных покрытий;
- совместимость различных технологических операций в одном рабочем вакуумном объеме (камере) либо в объемах, соединенных между собой шлюзами и транспортирующими устройствами;
- изолирование подложки с пленочным покрытием на всех стадиях ее обработки от воздействия окружающей среды.
Однако независимо от выбранного способа испарения (распыления) исходного материала и конкретного назначения изделия вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных структур имеет много общих систем.

Купить .








Теги: Ивашов :: Сигов :: 2019 :: теория :: электричество :: техника :: машина :: механизм