Прикладная физика, физика газового разряда, Смирнов А.С., 1997

Прикладная физика, Физика газового разряда, Смирнов А.С., 1997.

Данное пособие предназначено для студентов, специализирующихся в области физики плазмы, физической электроники, плазменной технологии полупроводниковых материалов и изучающих физику газового разряда. В его основе лежит курс лекций по физике, газового разряда, читаемый автором на физико-техническом факультете. Предполагается, что читатель знаком с основными понятиями физики плазмы и атомных столкновений [1]. Поскольку различные вопросы физики и техники газового разряда излагаются в большом количестве учетных пособий и монографий [2-10], в данной книге рассмотрены только, по нашему мнению, наиболее важные или недостаточно полно раскрытые вопросы. В частности, за пределами рассмотрения остались широко применяемые в технике дуговые разряды, СВЧ разряды, коронные и искровые разряды, процессы пробоя.

Некоторые экспериментальные данные о катодном слое тлеющего разряда.
Катодная область представляет собой наиболее важную часть тлеющего разряда, так как в ней сосредоточена большая часть приложенного к разрядному промежутку напряжения и выделяется значительная мощность. Ускоренные в катодном слое ионы могут приводить к распылению материала катода и изменению состава плазмы.

Типичная вольт-амперная характеристика тлеющего разряда показана на рис.4.1. На ней можно различить два режима. В нормальном тлеющем разряде катодное падение напряжения не зависит от величины разрядного тока. При этом отрицательное свечение занимает лишь часть поверхности катода. С ростом разрядного тока площадь свечения пропорционально ему увеличивается так, что плотность тока на катоде остается постоянной. Когда свечение занимает всю поверхность катода, разряд переходит в аномальный режим, в котором катодное падение напряжения возрастает с током. Величина нормального катодного падения определяется сортом газа и материалом катода и не зависит от давления. Нормальная плотность тока на катоде возрастает пропорционально давлению таза.

Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Прикладная физика, физика газового разряда, Смирнов А.С., 1997 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу

Как скачать файл

Как открыть файл

Правообладателям

Скачать книгу Прикладная физика, Физика газового разряда, Смирнов А.С., 1997 - pdf - depositfiles.

Скачать книгу Прикладная физика, Физика газового разряда, Смирнов А.С., 1997 - pdf - Яндекс.Диск.

Дата публикации: 15.10.2013 09:48 UTC