В настоящем учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l — координатных исполнительных устройств и узлов фения для работы в условиях вакуума, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств для захватов манипуляторов, вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, а также вопросы расчета вероятности безотказной работы элементов механических систем, функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнения и газовыделения и др.









Подписаться на RSS ленту ГДЗ, ЕГЭ, ГИА, подготовка к экзаменам, книги, готовые домашние задания, наука и обучение, анекдоты, презентации, словари, все для преподавателей, школьников для всех классов и студентов всех курсов. А ты Нашёл то, что тебе нужно?