Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
![Физические основы кремниевой наноэлектроники, Зебрев Г.И., 2020 Физические основы кремниевой наноэлектроники, Зебрев Г.И., 2020](/img/knigi/fizika/1328/132854.jpg)