Яфаров

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий, Яфаров Р.К., 2009

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий, Яфаров Р.К., 2009.

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы.

Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов ВУЗов соответствующего профиля.

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий, Яфаров Р.К., 2009
Скачать и читать Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий, Яфаров Р.К., 2009