Физические основы микро- и наноэлектроники, Методические указания по выполнению лабораторных работ, Васильев Е.В., Раевский Г.П., Попова Т.А., Черноверская В.В., 2020.
Методические указания содержат краткие теоретические сведения, методику проведения лабораторных работ и примеры расчетных заданий в рамках программы дисциплины «Физические основы микро- и наноэлектроники».
Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлению 11.03.03 «Конструирование и технология РЭС».