Учебное пособие охватывает круг основных проблем материаловедения неорганических материалов, предназначенных для использования в электронном приборостроении. В пособии рассмотрены закономерности образования полупроводниковых и металлических фаз; дефекты структуры и примеси в полупроводниках и металлах; поверхностные явления в полупроводниках; процессы диффузии в полупроводниках и металлах; проблемы формирования некоторых свойств полупроводников и металлов; процессы кристаллизации, пластической деформации и термической обработки, в том числе процессы эпитаксиального наращивания тонких слоев; основные группы полупроводниковых материалов, используемых в полупроводниковой электронике. Пособие предназначено для студентов вузов по специальности «Материалы электронной техники», «Полупроводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые приборы». Оно может быть полезно научным работникам, аспирантам и инженерам, работающим в области химии, физики и материаловедения полупроводников и технологии полупроводниковых материалов и приборов.
