микроэлектроника

Физические основы микроэлектроники, Марголин В.И., Жабрев В.А., Тупик В.А., 2008.

   Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.

Микроэлектромеханические системы и элементы, Кашкаров А.П., 2018.

В книге рассматриваются измерительные и силовые электронные датчики: гироскопы и акселерометры, магниточувствительные элементы и тензорезисторы, магнитоэлектронные датчики, а также устройства считывания информации с датчиков. Даны справочные данные, а также показаны инновационные инженерные разработки новых датчиков. Издание предназначено для специалистов отрасли и широкого круга читателей.

Название: Основы микроэлектроники.

Автор: Игумнов Д.В., Королев Г. В., Громов И. С.

1991.

В книге приведены основные сведения о методах преобразования электрических сигналов, изложены физические основы работы элементов электроники. Рассматриваются принципы построения и применения основных типов аналоговых и цифровых устройств на современной элементной базе.