В учебном пособии рассматриваются физические возможности измерения температуры, используемые в микросистемной технике (МСТ), и возможности их интегральной реализации. В частности, подробно описываются активные сенсоры температуры на основе термоэлектричества (эффект Зеебека), пассивные способы, основанные на измерении термозависимости различных типов резисторов и параметров транзисторов. Рассматривается также использование фиксации изменения температуры как промежуточный этап преобразований в сенсорах других типов: расходомерах, акселерометрах, химических анализаторах.
