Обобщены результаты разработки и применения сканирующей калориметрии в разряде (СКР). Рассмотрены принципы, измерительные характеристики, диагностические возможности и ограничения метода. Сравниваются информационные возможности СКР и традиционных (стационарных) методов, проведен анализ типичных ошибок при интерпретации результатов термозондовых измерений. Приведены результаты диагностики тепловых процессов в ВЧ-разрядах в газах при давлениях 0,1 мТор — 10 Тор, некоторых каталитических процессов и плазмохимических реакций.
Для специалистов в области физики и химии плазмы и газового разряда, плазмохимической микротехнологии, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.
