книги по микроэлектронике

Электромеханические микроустройства, Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., 2012.

В книге рассмотрены методы получения планарных и объемных микроструктур, выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Подойдет для инженерно-технических и научных работников, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей.

Технологии субмикронных структур микроэлектроники, Достанко А.П., 2018.

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.