Физические методы диагностики в микро - и наноэлектронике, Беляев А.Е., Конакова Р.В., Венгер Е.Ф., 2011.
Настоящая коллективная монография содержит материал, охватывающий базовые физические методы диагностики в микро- и наноэлектронике: методы рентгеновской дифракционной диагностики полупроводниковых материалов и структур, используемых в производстве СБИС и ряда дискретных полупроводниковых приборов, а также полупроводниковых структур с квантовыми точками, квантовыми ямами и сверхрешетками; методы электронной микроскопии, Ожеэлектронной спектрометрии, РФЭС, ВИМС и обратного резерфордовского рассеяния, а также ряд зондовых методов в диагностике контактной металлизации и электрофизических параметров полупроводниковых материалов; теплофизические методы в диагностике микроволновых диодов и светодиодов.
Значительное внимание уделено методам математического моделирования механизмов токопереноса в контактах металл- полупроводник с высокой плотностью дислокаций в приконтактной области полупроводника и физико-статистическому моделированию отказов в задачах диагностики полупроводниковых приборов.